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          大口徑光學元件散射缺陷檢測儀


          大口徑光學元件散射缺陷檢測儀

                 大口徑光學元件散射缺陷檢測儀(Model LSDI-2000-LA),適用于大口徑光學材料、半導體材料和金屬等材料拋光后的表面缺陷檢測和分析。本系統是一款非接觸式、全自動的檢測儀器,能夠高速檢測待測表面的劃痕、麻點、臟污等特性。

             產品特征

          1. 高速度

          2. 高靈敏度

          3. 高重復性

          4. 全自動操作

          5. 可根據不同標準自動判別

             主要技術參數
          大口徑光學元件散射缺陷檢測儀

          型號

          LSDI-2000-LALSDI-3000-LA

          檢測方式

          全自動全自動

          檢測靈敏度

          ≤ 500nm65 nm~90 nm

          樣品尺寸

          米級

          φ 300 mm

          注:可以根據客戶需求提供同類特制儀器和相關測試的解決方案。

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