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      大口徑光學元件散射缺陷檢測儀


      大口徑光學元件散射缺陷檢測儀

             大口徑光學元件散射缺陷檢測儀(Model LSDI-2000-LA),適用于大口徑光學材料、半導體材料和金屬等材料拋光后的表面缺陷檢測和分析。本系統是一款非接觸式、全自動的檢測儀器,能夠高速檢測待測表面的劃痕、麻點、臟污等特性。

         產品特征

      1. 高速度

      2. 高靈敏度

      3. 高重復性

      4. 全自動操作

      5. 可根據不同標準自動判別

         主要技術參數
      大口徑光學元件散射缺陷檢測儀

      型號

      LSDI-2000-LALSDI-3000-LA

      檢測方式

      全自動全自動

      檢測靈敏度

      ≤ 500nm65 nm~90 nm

      樣品尺寸

      米級

      φ 300 mm

      注:可以根據客戶需求提供同類特制儀器和相關測試的解決方案。

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